当前位置:首页 > 硅料的生产过程

硅料的生产过程(硅料生产原料)

admin1年前 (2023-12-11)31
硅料的生产过程(硅料生产原料)
多晶硅是如何生长的? 1、在炉内,原料气体发生化学反应,产生硅化合物。这些硅化合物在高温下分解,并在硅基体表面沉积形成多晶硅薄膜。反应物通过排气系统排出炉外。2、最佳由高频加热器产生一悬浮的溶区,多晶硅连续通过熔区熔融,在熔区与单晶接触的界面处生长单晶。3、多晶硅的反应容器为密封的,用电加热硅池硅棒...